近日，工商信息显示，张江高新已通过全资子公司持有上海微电子装备(集团)股份有限公司10.779%股权，为其第四大股东.张江浩成创业投资有限公司
据悉，张江高新参与上海微电子设备A系列融资，投资成本2.23亿元。
业内预测，张江高新预计获得税后投资收益在26.6亿元至54.9亿元之间(所得税税率为25%)。
目前，口罩对准器主导设备市场集中，EUV口罩对准器被ASML垄断。全球99%的口罩对准器出货量集中在ASML、尼康和佳能。其中，ASML的份额最高，达到67.3%。
上海微电子是国内唯一一家研发、生产以及销售高端光刻机的企业，也是全球第四家生产IC前道光刻机的企业,是mainland China领先的光刻设备公司，在中国大陆的市场份额超过80%。
此前，上海微电子披露，将于2021-2022年交付首款采用28nm技术的国产浸没式掩膜版对准器，国产掩膜版对准器将从此前的90nm突破至28nm，与国际先进水平的差距大大缩小。
上海微电子官网显示，公司拥有发明专利1442项，是国内工业4.0、先进制造、智能制造的典型代表。公司通过构建和参与产业知识产权联盟，进一步整合共享了联盟成员的大量知识产权资源，涉及光刻设备、激光应用、检测、特种应用等主要产品技术领域，全面覆盖产品主要销售领域，使得公司竞争实力不断提升。
